应变矽鳍形场效电晶体

摘要

本案系为一种将应变矽围绕在矽锗中心体所构成之鳍形场效电晶体，其包含：一绝缘层上矽(SOI)基底；一矽锗中心体，用以产生应变矽；一围绕矽锗中心体的的应变矽通道，使载子在传输方向的迁移率增加，使其有较大的电流，较快的速度；一氧化层；一复晶矽闸极电极(或金属闸极电极)；以及源极、汲极在鳍形通道两端，使其形成场效电晶体结构。