光罩用空白基板及光罩之制造方法

摘要

本发明系提供一种基板上至少设置一层膜所成之光罩用空白基板之制造方法，基板上形成膜后，藉由闪光灯进行光照射为其特征之光罩用空白基板之制造方法以及于以此方法所制造之光罩用空白基板膜上以微影法形成光阻图案后，以蚀刻法去除膜之光阻非被覆部份，再去除光阻为其特征之光罩制造方法。藉由本发明制造方法可取得反挠度小、高度耐药性之高品质光罩用空白板及光罩。