摘要 |
本发明提出一种可同时用于N–通道及P–通道快闪式记忆体之写入(programming)的方法。此一新模式系利用基极偏压增强汲极累增热电子注入方式,作为元件的写入操作,简称为SBAHE。以N–通道为例,此写入操作方式之主要特征为,具有一极低的控制闸极(control–gate)和汲极(drain)偏压,一负的基极(substrate)偏压,汲基间偏压在10伏特范围内,(闸、汲、基极压差在正、负5伏特范围内),且源极为浮接(floating),写入操作时无通道电流。此新写入方式已完成传统浮动闸极记忆元件结构中的测试。该操作模式的优点含:具有极低的操作偏压条件(lowvoltageoperation)、极低的功率损耗(lowpowerconsumption)、快速写入速度,以及各项优越的可靠性,如较传统方式有甚佳的汲极、闸极扰动(disturb),资料保存能力(dataretention)及耐久性(endurance)等。 |