单晶圆旋转蚀刻清洗机台之流体收集装置

摘要

本发明揭露一种单晶圆旋转蚀刻清洗机台之流体收集装置，其主要特征在于将可升降之收集单元设置于旋转蚀刻槽壁外侧。该收集单元并具有径向开口，可与旋转蚀刻槽周缘之流体泄出口相通。此收集单元可为环状或管状等形式，且可视所收集流体种类向外增设。而相邻之收集单元之间及/或收集单元与蚀刻槽壁之间可保持紧密接触，不会产生交叉污染。藉由本发明之装置，可分类收集旋转蚀刻清洗槽中之流体而不产生交叉污染。