光罩胚体、光罩及制造光罩胚体之方法与装置

摘要

本发明系有关一种光罩胚体、一种光罩、一种大致上用以制造光罩胚体的方法与装置，特别是藉由粒子束溅镀以制造光罩胚体的方法与装置。本发明之目的为提供一种制造高品质及高稳定性并适于生产具微小结构光罩之光罩胚体的方法。本发明提出一种制造光罩胚体的方法，其中在一真空腔室提供一基板及一靶材，该靶材被第一粒子或离子束照射，且至少一第一材料之第一层系藉由该溅镀于该靶材而沉积在该基板上。