半导体评估装置及半导体评估方法

摘要

本发明系提供可以形成高测定精度以及测试重现性之半导体评估装置以及半导体评估方法。其具有输出为在半导体晶圆中激起光载子而调制之抽运光之抽运雷射、向半导体晶圆照射探针光之探针雷射及检测由半导体晶圆所反射之探针光之检测器。