发明名称 无应力之合成基体及制造一合成基体之方法
摘要 本发明为一种包含由一载体材料构成之一载体(2),由一第一材料构成之一第一层(12),及被定位在载体(2)与第一层(12)间之由一第二材料构成之一中间层之无应力之合成基体,其中第一材料具有与载体材料实质上相同的一膨胀变化,且具有与第二材料不匹配之一膨胀,中间层(6)具有用于吸收来自不匹配膨胀应力之第二材料之架构(8)。本发明为一种用于制造此种无应力之合成基体之方法。
申请公布号 TW200421422 申请公布日期 2004.10.16
申请号 TW092135574 申请日期 2003.12.16
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 詹 海斯玛
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 荷兰