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发明名称
用于抽气玻璃器室之改良密封配备
摘要
对于一抽气头总成提供一垫片以将一由两玻璃片所界定之室抽气。垫片可由诸如铝等一金属箔制成,并具有设置一系列细微沟槽轮廓之相对的密封表面,且其中密封表面之间的厚度变异小于1微米。
申请公布号
TW200420847
申请公布日期
2004.10.16
申请号
TW093104951
申请日期
2004.02.26
申请人
雪梨大学
发明人
柯林;吴威龙
分类号
F16J15/02;F04B39/12;H01L21/00
主分类号
F16J15/02
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
澳大利亚
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