转移光罩图形之方法与装置

摘要

一种转移光罩图形之方法与装置。本发明之转移光罩图形之方法至少包括以下步骤。首先，提供用以产生一光罩之一资料档，并将此资料档分成复数个部分，其中每一部分至少包括一主要图形区与一接合区，且此接合区至少包括一几何图形。然后，于接合区形成一组几何特征，其中于一照射过程后此组几何特征形成一半色调灰阶曝光剂量分布。