零件供给装置

摘要

本发明系因应配置于零件供给装置的板片配置装置之板片的种类，对托架供给用板片，藉进行板片推压体的下降位置的限制，确实的进行其保持，一方面，对晶圆供给用板片，藉解除上述下降位置的限制，边确实的保持上述晶圆供给用板片，边进行朝晶圆的扩张，因应上述板片的种类，选择的且自动的进行适当之保持动作与扩张动作。