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〔解决手段〕以含有具有式(1)之重覆单位，聚苯乙烯换算重量平均分子量为1,000至30,000之酚醛清漆树脂之羟基之氢原子之3至27莫耳％，为1,2–二迭氮基磺醯基酯基所取代之硷可溶性酚醛清漆树脂，以及式(2)之聚苯乙烯换算重量平均分子量为100,000至500,000之甲基乙烯基醚–马来酸单烷基酯共聚物为特征之正型光阻组成物。092136226-p01.bmp092136226-p02.bmp(m系表示0至3的整数。R系表示烷基。)〔功效〕本发明之组成物作为电镀步骤用厚膜光阻系有效的，兼具高灵敏度、形状的垂直性、高解像性及电镀步骤中或电镀步骤后之耐裂缝性者。 |
