PROCEDIMIENTO Y APARATO PARA LA TRANSFERENCIA DE UN HAZ DE IONES.

摘要

UN METODO Y APARATO PARA MANTENER UN HAZ DE IONES A LO LARGO DE UN CAMINO DE HAZ (14) DESDE UNA FUENTE DE IONES (12) A UNA ESTACION DE IMPLANTACION DE IONES (16) DONDE LAS PIEZAS DE TRABAJO ESTAN TRATADAS CON EL HAZ DE IONES. UN NEUTRALIZADOR DE HAZ (44) SE POSICIONA ASCENDENTEMENTE DESDE LA ESTACION DE IMPLANTACION DEL HAZ (16) E INYECTA ELECTRONES DE NEUTRALIZACION DENTRO DEL HAZ DE IONES. UN CAMPO MAGNETICO SE CREA ASCENDENTE DESDE LA POSICION DEL NEUTRALIZADOR DEL HAZ PARA INHIBIR EL MOVIMIENTO ASCENDENTE DE ELECTRONES DE NEUTRALIZACION. UNA TECNICA REVELADA PARA ESTABLECER EL CAMPO MAGNETICO PARA INHIBIR EL MOVIMIENTO DE ELECTRONES ESTA CON UN PRIMER Y SEGUNDO IMAN PERMANENTE ESPACIADOS (M1,M2).