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Fotoiniciadores de esteres de oxima, correspondientes a las fórmulas I, II, III, IV y V, en donde los radicales Ar{sub,1}, Ar{sub,2}, R{sub,1}, R{sub,2}, M{sub,1}, M{sub,2}, y M{sub,3} se corresponden con lo expresado en las reivindicaciones. La invención describe también composiciones fotopolimerizables que contienen (a) por lo menos un compuesto fotopolimerizable etilénicamente no saturado y (b) como fotoiniciador por lo menos uno de los compuestos de fórmulas I, II, III, IV, y/o V. Se refiere también a un procedimiento para la fotopolimerización de compuestos que contienen enlaces etilénicamente no saturados. Estos compuestos y sus composiciones son adecuados como fotoiniciadores, en particular, en aplicaciones en resists.
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