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发明名称
Substrat mit einem durchsichtigen, leitfähigen Film beschichtet ist und Sputtertarget zur Abscheidung des Films
摘要
申请公布号
DE69820639(T2)
申请公布日期
2004.10.14
申请号
DE19986020639T
申请日期
1998.02.20
申请人
ASAHI GLASS CO., LTD.
发明人
MITSUI, AKIRA
分类号
C01G19/00;C23C14/08;C23C14/34;H01B5/14;(IPC1-7):C23C14/08
主分类号
C01G19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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