发明名称 THERMAL PROCESS FOR REDUCING THE CONCENTRATION OF DINITROGENDIFLUORIDE AND DINITROGEN TETRAFLUORIDE IN NITROGEN TRIFLUORIDE
摘要
申请公布号 CA2514345(A1) 申请公布日期 2004.10.14
申请号 CA20042514345 申请日期 2004.03.25
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 MAHLER, BARRY ASHER;NAPPA, MARIO J.
分类号 B01J19/00;B01J19/02;B01J19/24;C01B21/083;H01L21/3065;(IPC1-7):C01B21/083 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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