| 摘要 |
<p>Die Vorrichtung (1) weist einen Mikrowellenresonator (Koaxialresonator, 2) auf mit mindestens einem Außenleiter (3), der einen Hohlzylinder (31) mit einem Innenraum (32) aufweist, wobei der Innenraum von einer Mantelwandung (33) des Hohlzylinders mit einem Innendurchmesser (34) und von einer Stirnwandung (35) des Hohlzylinders mit einer Öffnung (36) begrenzt ist, und mit mindestens einem im Innenraum des Hohlzylinders des Außenleiters angeordneten und mit dem Außenleiter elektrisch leitend verbundenen Innenleiter (4), der einen Innenzylinder (41) mit einem Außendurchmesser (42) und eine mit dem Innenzylinder verbundene Spitze (43) zum Aussenden eines elektrischen Wechselfeldes mit einer Resonanzfrequenz des Mikrowellenresonators aufweist, wobei die Spitze des Innenleiters derart in der Öffnung der Stirnwandung des Hohlzylinders angeordnet ist, dass eine in einem Probenabstand (51) zur Spitze des Innenleiters anzuordnende Probe und das elektrische Wechselfeld derart in Wechselwirkung treten können, dass die Resonanzfrequenz des Mikrowellenresonators von der Eigenschaft der Probe abhängt. Die Vorrichtung verfügt über ein Mittel (7) zum Bestimmen des Probenabstands und/oder zum Bestimmen einer Schichtdicke (52) der Probe (5). Dieses Mittel ist vorzugsweise ein Rasterkraft-Mikroskop, das zusammen mit dem Mikrowellenresonator in einem einzigen Sensorelement integriert ist. Damit sind alle für die Bestimmung der elektrischen Eigenschaften einer relativ dünnen Probe auf einem Substrat notwendigen Daten zugänglich. Verwendung finden die Vorrichtung und das Verfahren in der HTE (High Throughput Experimentation) zur Charakterisierung kombinatorischer Materialbibliotheken.</p> |
