| 发明名称 |
Quadrupol-Vorrichtung für Projektionslithographie mittels geladener Teilchen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69913313(T2) |
申请公布日期 |
2004.10.14 |
| 申请号 |
DE19996013313T |
申请日期 |
1999.09.07 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN |
发明人 |
KRIJN, P. |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/04;H01J37/141;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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