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发明名称 HEIZPLATTENEINHEIT
摘要
申请公布号 DE60013620(D1) 申请公布日期 2004.10.14
申请号 DE20006013620 申请日期 2000.06.02
申请人 IBIDEN CO. LTD., OGAKI 发明人 FURUKAWA, MASAKAZU
分类号 H01L21/00;H05B3/14;H05B3/74;(IPC1-7):H01L21/027;H05B3/68;H05B3/10 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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