Verfahren zur Herstellung von Formteilen aus Niob oder Tantal durch elektrochemisches Ätzen und so erhältliche Formteile

摘要

Verfahren zur Herstellung von Formteilen aus Niob oder Tantal durch elektrochemisches Ätzen eines mit einer strukturierten Photolackmaske überzogenen Niob- oder Tantalbleches in einer Flusssäure enthaltenden wässrigen Ätzlösung, wobei das Ätzen unter elektrochemischen Bedingungen erfolgt, bei denen der Ätzstrom von starkem Rauschen überlagert ist und die Ätzlösung ein wasserlösliches Polymer enthält.