| 发明名称 |
VAKUUMBEHANDLUNGSVERFAHREN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69826120(D1) |
申请公布日期 |
2004.10.14 |
| 申请号 |
DE19986026120 |
申请日期 |
1998.04.28 |
| 申请人 |
SHIBAURA MECHATRONICS CORP., YOKOHAMA |
发明人 |
KASAI, MASARU |
| 分类号 |
B44C1/22;C23F1/00;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/311;C23C16/02 |
主分类号 |
B44C1/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
