发明名称 Förder-bzw. Transportvorrichtung für ein plattenartiges Werkstück
摘要 Eine Förder- bzw. Transportvorrichtung für ein plattenartiges Werkstück weist ein Ansaug-Haltemittel zum Halten des plattenartigen Werkstücks durch Ansaugung und ein Bewegungsmittel zum Bewegen des Ansaug-Haltemittels zwischen einer ersten vorbestimmten Position und einer zweiten vorbestimmten Position auf, wobei DOLLAR A das Ansaug-Haltemittel ein plattenartiges Werkstückhalteelement, berührungslose Ansaughalter, die an der unteren Fläche des mittleren Bereichs des plattenartigen Werkstückhalteelements angeordnet sind, ein Beschränkungsmittel, welches an der unteren Fläche des Umfangsbereichs des plattenartigen Werkstückhalteelements angebracht ist und die Bewegung des plattenartigen Werkstücks in der horizontalen Richtung beschränkt, und eine Mehrzahl von Fallverhinderungsmitteln aufweist, welche in dem Umfangsbereich des plattenartigen Werkstückhalteelements an vorbestimmten Intervallen in der Umfangsrichtung angebracht sind und das Fallen des plattenartigen Werkstücks verhindern, das durch die berührungslosen Ansaughalter adsorbiert ist.
申请公布号 DE102004001350(A1) 申请公布日期 2004.10.14
申请号 DE200410001350 申请日期 2004.01.08
申请人 DISCO CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 INOUE, TAKAAKI
分类号 B65G49/07;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;B25J15/06;H01L21/304 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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