| 发明名称 |
Konvergenzsteuerungsvorrichtung und Verfahren zum Kompensieren eines Winkelfehlers eines Referenzmusters |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10236441(B4) |
申请公布日期 |
2004.10.14 |
| 申请号 |
DE20021036441 |
申请日期 |
2002.08.08 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
SHIM, JAE-SEUNG |
| 分类号 |
H01J31/10;H04N9/28;H04N9/31;(IPC1-7):H04N9/28 |
主分类号 |
H01J31/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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