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发明名称 ARTICULATED ARM TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号 EP0696242(B2) 申请公布日期 2004.10.13
申请号 EP19940914144 申请日期 1994.04.13
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 HOFMEISTER, CHRISTOPHER
分类号 B25J9/06;B25J9/10;B25J9/12;B25J18/02;B25J21/00;H01L21/677;H01L21/687;H02K5/128;H02K16/00;H02K29/00;(IPC1-7):B25J21/00 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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