| 发明名称 | 导电性氮化物膜及其制备方法和防反射体 | ||
| 摘要 | 含Ti和/或Zr及选自Al、Si、Mo、Cr、Nb、Hf、Ni、Co、Fe、Pd、Ag、Au和Pt的一种以上金属、耐热性好的导电性氮化物膜及其制备方法，以及用该导电性氮化物膜的防反射体。 | ||
| 申请公布号 | CN1171241C | 申请公布日期 | 2004.10.13 |
| 申请号 | CN00803600.4 | 申请日期 | 2000.02.10 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 藤野正美;佐藤一夫;光井彰;竹田谕司;堀江则俊 |
| 分类号 | H01B1/06;H01B5/14;C23C14/06;C23C14/34;G09F9/00 | 主分类号 | H01B1/06 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1.防反射体，它在基体上具有一层以上的导电性氮化物膜及一层以上低折射率膜，所述的导电性氮化物膜通过用包含(A)Ti和/或Zr、及(B)选自Pd、Ag和Pt的一种以上金属的混合物在含氮气氛中进行溅射而获得，其中(B)的总和与(A)和(B)的总和的比例为1～10at％。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||