发明名称 |
Method of making a dual damascene structure |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0890984(B1) |
申请公布日期 |
2004.10.13 |
申请号 |
EP19980110288 |
申请日期 |
1998.06.05 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
GUTSCHE, MARTIN;TOBBEN, DIRK |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|