磁悬浮微运动平台高度测量与校正装置

摘要

本实用新型公开了一种磁悬浮微运动平台高度测量与校正装置。在运动平台的下面四边中心对称位置嵌入四组永磁阵列，与每组永磁阵列对应地布置四组固定绕组，永磁阵列与固定绕组之间电磁力的相互作用，就使运动平台产生高度(垂直)和水平方向的运动。在运动平台下面的中心位置嵌入三块分束镜，与布置在四组固定绕组之间的一块大的固定分束镜组成三个法布里—珀罗干涉仪。干涉仪测量运动平台高度方向的运动位移。根据三点确定一个平面的方法，通过分别调节四组永磁阵列与固定绕组之间电磁力的大小，使三个干涉仪的分束镜与固定分束镜之间的距离相等，即可保证运动平台在恒水平方向上运动。本实用新型主要适用于纳米技术、微光机电技术、集成电路芯片制造技术、生物技术等领域所涉及的磁悬浮式、气浮式纳米级运动平台领域。

主权项

1、一种磁悬浮微运动平台高度测量与校正装置，其特征在于它包括：运动平台(1)，永磁阵列(2)，三块分束镜(3、4、5)，三束光纤(6、7、8)，五块分光镜(9、10、11、13、14)，反射镜(12)，三个光电探测器(15、16、17)，激光器(18)，固定分束镜(19)，固定绕组(20)；在运动平台(1)的底部四边中心对称位置分别嵌入一组永磁阵列(2)，与每组永磁阵列(2)对应地布置一组固定绕组(20)，在运动平台(1)的底部中心位置嵌入等分安装的第一、第二、第三分束镜(4、3、5)，分别用第一、第二、第三光纤(6、7、8)从运动平台(1)的一侧接入运动平台(1)的内部并分别至第一、第二、第三分束镜(4、3、5)，固定分束镜(19)置于四组固定绕组(20)的中间；第一、第二、第三分束镜(4、3、5)和固定分束镜(19)之间形成三个法布里—珀罗干涉仪，第一、第二、第三光纤(6、7、8)的输入端分别经各自的第一、第二、第三分光镜(9、10、11)，分别与各自的第一、第二、第三光电探测器(17、16、15)和各自的第五、第四分光镜(14、13)、反射镜(12)连接，第五、第四分光镜(14、13)、反射镜(12)位于同一光轴上，第五分光镜(14)前装有激光器(18)。