| 摘要 |
<p>"SISTEMA DE DISTRIBUIçãO DE FLUIDO DE ALTA PUREZA". Um sistema de distribuição de fluido inclui um dispositivo de controle de fluxo e um medidor de fluxo de massa Coriolis (112), em comunicação fluida com o dispositivo de controle de fluxo (110). O medidor de fluxo Coriolis tem um tubo de escoamento feito de um material plástico de alta pureza, tal como PFA, tornando o sistema de distribuição adequado para aplicações de alta pureza. Um controlador (114) proporciona uma sina de saída de controle para o dispositivo de controle de fluxo (110), que pode compreender uma válvula de constrição (120), de modo a variar o dispositivo de controle de fluxo, em resposta a um sinal de ponto de ajuste e aos sinais de medida recebidos do medidor de fluxo (112).</p> |
