| 发明名称 | 激光加工用掩模及其制造方法 | ||
| 摘要 | 掩模10由具有激光加工用的加工图案的金属材料构成的掩模部件层12和从上、下两面把掩模部件层夹持的激光透过材料构成的第1、第2基板部件11、13构成。 | ||
| 申请公布号 | CN1170654C | 申请公布日期 | 2004.10.13 |
| 申请号 | CN01804255.4 | 申请日期 | 2001.01.09 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 浜田史郎 |
| 分类号 | B23K26/06;H01L21/027;G03F1/08 | 主分类号 | B23K26/06 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 郭煜 |
| 主权项 | 1、一种激光加工用掩模，具有预定的加工图案，其特征在于，由具有所述加工图案的激光反射材料所成的掩模部件与从上下两面把此掩模部件夹持的激光透过材料所成的基板部件形成所述掩模，所述掩模部件是Au、Cu、Ni、铍青铜中的任一种。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||