对被测试的电子器件进行温度控制的装置和方法

摘要

用于控制一被测试的电子器件(10)温度的设备，所述设备包括一个具有与所述电子器件(10)热接触的温控表面(16)的感热头(14)；所述感热头(14)限定一用于通过致冷流体的流动通道(36)以在所述电子器件(10)和所述感热头(14)之间传导热能；一致冷系统，它与所述感热头的流动通道(36)流体连通以将致冷流体供应到该处；所述致冷系统包括一调节所述致冷流体流动的计量阀(46)以调节所述致冷流体进入所述感热头(14)；一控制器(22)，它用于控制所述计量阀(46)以保持所述温控表面(16)的温度为预定温度。

主权项

1.用于控制一被测试的电子器件温度的设备，所述设备包括：具有与所述电子器件热接触的温控表面的感热头；所述感热头限定一用于通过致冷流体的流动通道以在所述电子器件和所述感热头之间传导热能；致冷系统，它与所述感热头的流动通道流体连通以将致冷流体供应到该处；所述致冷系统包括一调节所述致冷流体流动的计量阀，所述计量阀位于邻近所述感热头的流动通道的位置以调节所述致冷流体进入所述感热头；及控制器，它用于控制所述计量阀以保持所述温控表面的温度为预定温度。