灰色调掩模的缺陷检查方法

摘要

本发明提供一种灰色调掩模的判定(检查，保证)和校正方法。该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部和透光部，其特征在于，具有：(1)生成上述灰色调部的图像数据的工序；(2)根据上述图像数据，实施使得能够识别出灰色调部的缺陷的图像处理的工序；以及(3)根据上述图像处理后的数据，进行缺陷检查的工序。由此，在对正常图形和所有校正图形进行判定的情况下，可容易地对灰色调部在用户的曝光和转印处理中是否发生问题进行检查(判定)。

主权项

1.一种灰色调掩模的缺陷检查方法，该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部；和透光部，其特征在于，包括：生成上述灰色调部的图像数据的工序；根据上述图像数据，实施使得能够识别出灰色调部中的缺陷的图像处理的工序；以及根据上述图像处理后的数据，进行缺陷检查的工序。