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发明名称 VAPORISER/DELIVERY VESSEL FOR VOLATILE/THERMALLY SENSITIVE SOLID AND LIQUID COMPOUNDS
摘要
申请公布号 EP1466030(A1) 申请公布日期 2004.10.13
申请号 EP20020789807 申请日期 2002.11.21
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 DONATUCCI, MATTHEW, B.;WANG, LUPING;MAYER, JAMES
分类号 C23C14/24;C23C16/448;H01L21/02;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/24;C23C16/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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