用于加工陶瓷胎片的方法和装置

摘要

本发明的在陶瓷胎片上形成多个馈通孔的方法是这样的，即，通过使由激光源发出的激光束经过一衍射光栅而将该激光束分裂成多个激光束，将各分裂的激光束照射到陶瓷胎片上，就可以同时形成多个馈通孔。

主权项

1.一种用于在陶瓷胎片上形成多个馈通孔的陶瓷胎片加工方法，包括如下步骤：设置一个用于发出脉冲激光束的激光源、一个用于将所述激光束分裂成多个激光束的衍射光栅、一个可允许所述激光束以预定反射角反射的电流计式扫描镜、一个用于对电流计式扫描镜反射而来的各激光束分别进行会聚的会聚透镜、以及布置在一预定位置上的陶瓷胎片；使一个从所述激光源发出的激光束通过所述衍射光栅；使所述激光束分裂成多个激光束；使分裂的脉冲激光束借助电流计式扫描镜的反射而照射到所述陶瓷胎片上，从而在所述陶瓷胎片的一个所需区域内同时形成多个馈通孔；以及通过改变电流计式扫描镜的反射角而用激光束对陶瓷胎片反复地进行照射，从而在所述陶瓷胎片的另一个所需区域内形成多个馈通孔。