发明名称 粘接基底的装置
摘要 为了使两个基底在粘接过程中简单经济地保证同步旋转,本发明提出一种用于将两个各有一个内孔的基底粘接成一个基底盘片的装置,带有一个可旋转的第一抓取机构(48)用于抓取第一基底,一个与第一抓取机构不可相对旋转地连接的对中销(1),一个驱动机构用于使对中销(1)和第一抓取机构(48)旋转,其中对中销可以插入到至少第一抓取机构的内孔中,其特征在于一个与对中销(1)可嵌接的随动件(20)和一个用于抓取第二基底的第二抓取机构(86),该第二抓取机构与随动件(20)不可相对旋转地连接。
申请公布号 CN1537307A 申请公布日期 2004.10.13
申请号 CN02809607.X 申请日期 2002.05.02
申请人 施蒂格哈马技术股份公司 发明人 S·莱昂哈德特;I·居克吕;M·温特
分类号 G11B7/26;B29C65/48 主分类号 G11B7/26
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 苏娟;赵辛
主权项 1.用于将两个各有一个内孔的基底粘接成一个基底盘片的装置(40),带有一个可旋转的第一抓取机构(48)用于抓取第一基底,一个与第一抓取机构不可相对旋转地连接的对中销(1),一个驱动机构用于使对中销(1)和第一抓取机构(48)旋转,其中对中销可以插入到至少第一抓取机构的内孔中,其特征在于一个与对中销(1)可嵌接的随动件(20)和一个用于抓取第二基底的第二抓取机构(86),该第二抓取机构与随动件(20)不可相对旋转地连接。
地址 德国斯台恩费尔斯