Elektrodenteil für eine Plasmabehandlungsvorrichtung, Plasmabehandlungsvorrichtung und Plasmabehandlungsverfahren,申请号DE20021096978T-传众专利搜索

发明名称	Elektrodenteil für eine Plasmabehandlungsvorrichtung, Plasmabehandlungsvorrichtung und Plasmabehandlungsverfahren
摘要
申请公布号	DE10296978(T5)	申请公布日期	2004.10.07
申请号	DE20021096978T	申请日期	2002.06.24
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.;KROSAKI HARIMA CORPORATION, KITAKYUSHU	发明人	ARITA, KIYOSHI;IWAI, TETSUHIRO;HAJI, HIROSHI;SAKEMI, SHOJI;MATANO, TAIJI;SATOU, NOBUHIRO
分类号	H05H1/46;B01J19/08;C23C16/44;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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