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发明名称
Komplementäre elektrostatische Anregungsvorrichtung für ein Mikro-Betätigungsorgan
摘要
申请公布号
DE69726692(T2)
申请公布日期
2004.10.07
申请号
DE19976026692T
申请日期
1997.10.31
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, BYEUNG-LEUL;OH, YONG-SOO;CI-MOO, SONG
分类号
G01H11/06;G01C19/56;H02N1/00;H03K3/00;(IPC1-7):G01C19/56
主分类号
G01H11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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