发明名称 |
Doppelgrabenisolierung für eine Phasenumwandlungsspeicherzelle und Verfahren zu ihrer Herstellung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10297015(T5) |
申请公布日期 |
2004.10.07 |
申请号 |
DE2002197015T |
申请日期 |
2002.02.22 |
申请人 |
INTEL CORPORATION, SANTA CLARA |
发明人 |
XU, DANIEL |
分类号 |
G11C16/02;H01L21/762;H01L27/102;H01L27/24;(IPC1-7):H01L27/102;H01L45/00;G11C11/34 |
主分类号 |
G11C16/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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