发明名称 Doppelgrabenisolierung für eine Phasenumwandlungsspeicherzelle und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE10297015(T5) 申请公布日期 2004.10.07
申请号 DE2002197015T 申请日期 2002.02.22
申请人 INTEL CORPORATION, SANTA CLARA 发明人 XU, DANIEL
分类号 G11C16/02;H01L21/762;H01L27/102;H01L27/24;(IPC1-7):H01L27/102;H01L45/00;G11C11/34 主分类号 G11C16/02
代理机构 代理人
主权项
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