METHOD FOR PRODUCING INDIVIDUAL MICROLENSES OR A MICROLENS ARRAY

摘要

Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung einzelner Mikrolinsen oder eines Mikrolinsenarrays aus glasartigem Material, bei dem ein erstes Substrat mit einer Vertiefungen aufweisenden Oberfläche bereitgestellt wird, über die ein aus dem glasartigen Material bestehendes zweites Substrat zumindest teilweise überlappend in Deckung gebracht und unter Vakuumbedingungen mit dieser verbunden wird, und bei dem der Substratverbund derart getempert wird, dass das zweite Substrat erweicht und in die Vertiefungen des ersten Substrats hineinfließt, wodurch die dem ersten Substrat abgewandte Seite des zweiten Substrats zur Ausbildung wenigstens einer Mikrolinsenoberfläche strukturiert wird. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass zur Ausbildung der wenigstens einen Mikrolinsenoberfläche das erweichte glasartige Material des zweiten Substrates in wenigstens zwei Vertiefungen des ersten Substrates hineinfließt, deren Form, Größe und Anordnung die Krümmung der sich ausbildenden Mikrolinsenoberfläche bestimmen.