Vorrichtung und Verfahren zum Reduzieren der elektronenstrahlinduzierten Abscheidung von Kontaminationsprodukten

摘要

In einer Einrichtung zur Untersuchung eines Objektes mit einem Elektronenstrahl, insbesondere einem REM, TEM oder SEM, entstehen durch die Bestrahlung oftmals Kontaminationen. Zur Reduzierung dieser Kontaminationen wird die mit dem Elektronenstrahl bestrahlte Oberfläche des Objektes gleichzeitig mit Licht, insbesondere mit UV-Licht, beleuchtet.