光学投影系统中的薄膜型驱动反射镜阵列及其制作方法

摘要

一种薄膜型AMA，它具有带布线电路和连接端头的基片；在其上的执行机构；用以支撑执行机构的支撑件；在执行机构上的反射部件；和用于支撑反射部件的多个支柱。反射部件受到执行机构上的第一支柱和对应地于邻近执行机构上的第二支柱和第三支柱的支承。从而可防止反射部件向下偏转或倾斜，使反射部件的倾角一致。另外，由于第一与第二支柱之间，或第一与第三支柱之间的反射部件长度较短，所以反射部件的倾角较大。

主权项

1.一种由第一信号和第二信号驱动的光学投影系统中的薄膜型驱动反射镜阵列，所述薄膜型驱动反射镜阵列具有：基片，它具有布线电路和连接端头，用以从外部接受第一信号并传送该第一信号；支撑件，它具有形成于在所述基片上形成所述连接端头处的支撑部件和第一支撑层，所述第一支撑层具有附着在所述支撑部件上的第一部分和平行于所述基片形成的第二部分；执行机构，它具有形成于所述第一支撑层上用以接受第一信号的底部电极；与所述底部电极对应的顶部电极，用以接受第二信号，并在所述顶部电极与底部电极之间产生电场；还有在所述顶部电极与底部电极之间形成并受所述电场而变形的有源层；第一支柱，形成在所述执行机构的第一部分上；第二支柱和第三支柱，形成在形成所述支撑部件的执行机构上的邻近执行机构上，所述第二支柱与第三支柱彼此对应地形成；以及用于反射光的反射部件，所述反射部件受到所述第一支柱、第二支柱和第三支柱的支承，其中第一、第二和第三支柱不共线。