光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法及装置

摘要

本发明涉及一种光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法及装置，用于精密或超精密加工设备和测量中。本发明融合光束光强调制技术、光纤准直技术和光束漂移量高速反馈控制技术于一体，提供一种光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法与装置，其将激光光束调制为工频频率50Hz的非整数倍的特定频率的交变光束，利用单模光纤进行初级准直，再将单模光纤初级准直后光束的漂移量分解为平漂量和角漂量，分别对其进行高精度锁相放大检测，并用相应的光束平漂量和角漂量反馈控制机构使光束平漂量和角漂量向减小的方向进行高速反馈交替调整，进而达到出射光束的高精度准直目的。

主权项

1.一种光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①将激光器发出的激光束调制为强度交变的激光光束；②将交变激光光束通过单模光纤进行初级准直；③将初级准直后激光光束的漂移量分解为平漂量和角漂量；④对光束平漂量和角漂量分别进行高精度锁相放大检测；⑤对光束平漂量和角漂量进行归一化处理；⑥依据检测的平漂量大小，使激光光束向平漂量减小的方向进行光束空间平动调整；⑦依据检测的角漂量大小，使激光光束向角漂量减小的方向进行光束空间转角调整；⑧交替上述⑥和⑦两调整步骤，对平漂量和角漂量进行高速反馈控制，将其抑制在要求的阈值10-8rad范围内。