用于离子注入机的可调传动限制缝隙

摘要

一种带电微粒射束装置包括：带电微粒射束源，用于在下游方向上沿着射束路径引导带电微粒射束到达靶；和确定靶腔的处理台。处理台包括腔分隔物，该分隔物在带电微粒束处理靶期间，将靶腔分为上游和下游区域。靶被置于下游区域，并且分隔物具有从其上穿过的缝隙，该缝隙的尺寸允许带电微粒射束穿过到达靶，而几乎没有阻挡，并且限制气体回流到腔的上游区域。分隔物将暴露于在靶上产生的外部核素的射束体积最小化，由此减少射束变化碰撞的可能性。

主权项

1.一种带电微粒射束装置，包括：带电微粒射束源，用于在下游方向上沿着射束路径引导带电微粒射束到达靶；以及确定靶腔的处理台，该处理台包括腔分隔物，该分隔物在带电微粒束处理靶期间，将靶腔分为上游和下游区域，靶被置于下游区域，并且分隔物具有从其上穿过的缝隙，该缝隙的尺寸允许带电微粒射束穿过到达靶，而几乎没有阻挡，并且限制气体回流到腔的上游区域。