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发明名称
摘要
申请公布号	JP3572561(B2)	申请公布日期	2004.10.06
申请号	JP19960269641	申请日期	1996.10.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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