发明名称 Energy filter, particularly for electron microscope
摘要
申请公布号 EP0899771(B1) 申请公布日期 2004.10.06
申请号 EP19980114706 申请日期 1998.08.05
申请人 LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH 发明人 BENNER, GERD, DR.
分类号 G01Q30/02;H01J37/05;H01J49/46;(IPC1-7):H01J37/05 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
地址