固态成像装置及其制造方法

摘要

一种固态成像装置(100)，包括多个光敏单元(8)和用于驱动多个光敏单元(8)的驱动单元。每个光敏单元(8)包括：光电二极管(5)，形成为暴露在半导体衬底的表面上，用于积累通过对入射光进行光电转换而获得的信号电荷；转移晶体管，用于转移由光电二极管(5)积累的信号电荷；浮动扩散层(1)，用于暂时积累由转移晶体管转移的信号电荷；以及放大器晶体管(2)，用于放大暂时积累在浮动扩散层(1)中的信号电荷。设置在放大器晶体管(2)中的源/漏扩散层(3)被自对准金属硅化物层(4)覆盖，并且浮动扩散层(1)形成为暴露在半导体衬底的表面上。

主权项

1、一种固态成像装置，包括：多个光敏单元，以矩阵形式设置在半导体衬底上的光敏区中；以及驱动单元，用于驱动所述多个光敏单元，其中每个光敏单元包括：光电二极管，形成为暴露在所述半导体衬底的表面上，用于积累通过对入射光进行光电转换而获得的信号电荷；转移晶体管，形成在所述半导体衬底上，用于转移在所述光电二极管中积累的信号电荷；浮动扩散层，形成在所述半导体衬底上，用于暂时积累由所述转移晶体管转移的信号电荷；以及放大器晶体管，形成在所述半导体衬底上，用于放大暂时积累在所述浮动扩散层中的信号电荷，其特征在于：设置在所述放大器晶体管中的源/漏扩散层被自对准金属硅化物层覆盖，并且所述浮动扩散层形成为暴露在所述半导体衬底的表面上。