发明名称 真空吸引系统及其控制方法
摘要 本发明提供一种真空吸引系统,能将工件稳定地装填到工件传送工作台的工件收容孔内,而且能稳定地排出。真空吸引系统设有:具有工件收容孔(5)的工件传送工作台(2);具有与工件传送工作台(2)的工件收容孔(5)相连通的真空吸引沟(7)的工作台基座(3)。这些工件收容孔(5)和真空吸引沟(7)借助真空管路(9)而与真空发生源(17)相连通。在真空管路(9)上连接着负压传感器(10)、根据该负压传感器(10)输出的信号、将压缩空气发生源(20)输出的压缩空气送入到真空管路(9)内,使真空管路(9)内的真空度稳定。
申请公布号 CN1533969A 申请公布日期 2004.10.06
申请号 CN200410002916.7 申请日期 2004.01.20
申请人 东京威尔斯股份有限公司 发明人 小岛智幸;松川繁;阿部博晃
分类号 B65G47/91;H01L21/68;H05K13/00 主分类号 B65G47/91
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 张天安;郑建晖
主权项 1.一种真空吸引系统,其特征在于,具有:真空泄漏发生部;与该真空泄漏发生部相连接的真空吸引机构;与该真空吸引机构相连接的、调整泄漏发生部中的真空度的真空度调整机构。
地址 日本东京都