发明名称 |
反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法 |
摘要 |
本发明提供反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法。其包括:在绝缘基板上形成栅极之后,再在包括所述栅极的绝缘基板上形成栅绝缘膜的工序;在所述栅绝缘膜上部形成有源层和电阻接触层之后,再在包括所述有源层和电阻接触层的绝缘基板上与所述电阻接触层重叠地形成源/漏电极的工序;在包括所述源/漏电极的绝缘基板上形成保护膜之后,再在所述保护膜上形成树脂层的工序;在所述树脂层上用一张掩膜以相同曝光量进行一次曝光,在所述树脂层的一侧上形成接触孔,而在所述树脂层的另一侧上形成具有预定角度的凹凸的凹凸部的工序;在包括所述接触孔和凹凸部的形成物的上部全部上形成反射板的工序。 |
申请公布号 |
CN1534334A |
申请公布日期 |
2004.10.06 |
申请号 |
CN200310124353.4 |
申请日期 |
2003.12.30 |
申请人 |
京东方显示器科技公司 |
发明人 |
赵珍熙;林承武;金贤镇;孙暻锡 |
分类号 |
G02F1/133;G02F1/136;H01L29/786;H01L21/02 |
主分类号 |
G02F1/133 |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
李贵亮;杨梧 |
主权项 |
1.一种反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,包括:形成栅绝缘膜工序,其在绝缘基板上形成栅极之后,再在包括所述栅极的绝缘基板上形成栅绝缘膜;形成源/漏极电极工序,其在所述栅绝缘膜的上部形成有源层和电阻接触层之后,再在包括所述有源层和电阻接触层的绝缘基板上与所述电阻接触层重叠地形成源/漏电极;形成树脂层工序,其在包括所述源/漏电极的绝缘基板上形成保护膜之后,再在所述保护膜上形成树脂层;形成接触孔和凹凸部的工序,其在所述树脂层上用一张掩膜以相同曝光量进行一次曝光,在所述树脂层的一侧上形成接触孔,而在所述树脂层的另一侧上形成具有预定角度的凹凸的凹凸部;形成反射板工序,其在包括所述接触孔和凹凸部的形成物的整个上部形成反射板。 |
地址 |
韩国京畿道 |