X光产生装置

摘要

本发明之X光产生装置具有：一阴极电极15、一用以控制该阴极电极15所生电子束e之栅极电极17、一用以集束该电子束e之聚焦电极18、以及一藉由电子束e之撞击而放出X光之阳极靶材14。在阴极电极15和栅极电极17之间，受施加有一来自偏压电压产生部20之偏压电压Vb。阳极靶材14受施加一来自管电压产生部19之管电压Vt。分压部31对管电压Vt进行分压，而产生聚焦电压Vf。藉由将如此而得之聚焦电压Vf施加至聚焦电极18上，将可以抑制电压变动对于电子束之焦点形成所造成的影响。

主权项

1.一种X光产生装置，其特征在于，具有：一阴极电极，用以产生电子束；一栅极电极，用以控制该阴极电极所发生之该电子束流；一聚焦电极，用以使该电子束集束；一阳极靶材，用以藉由该聚焦电极所集束得之该电子束之撞击，而放出X光；一偏压电压产生部，用以产生一供施加至该阴极电极与该栅极电极间之偏压电压；一管电压产生部，用以产生一供施加至该阳极靶材之管电压；以及一分压部，用以对该管电压进行分压而产生聚焦电压，再将该聚焦电压施加至该聚焦电极。