| 发明名称 |
UNIFORMITY CONTROL FOR PLASMA DOPING SYSTEMS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1464067(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.06 |
| 申请号 |
EP20020773893 |
申请日期 |
2002.10.24 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. |
发明人 |
WALTHER, STEVEN, R. |
| 分类号 |
H05H1/24;H01J37/20;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
