| 发明名称 | 测试分类机的温度监控系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于半导体测试分类机的温度监控系统。预加工台用于使测试器件达到一预定温度，以便于在测试平台以所述的预定温度进行测试。一个或一个以上的辐射传感器，例如热电堆器件，其应用于该测试分类机中，通过测量发自该测试器件的辐射来检测该测试器件的表面温度。 | ||
| 申请公布号 | CN1534754A | 申请公布日期 | 2004.10.06 |
| 申请号 | CN200410008772.6 | 申请日期 | 2004.03.18 |
| 申请人 | 先进自动器材有限公司 | 发明人 | 徐靖民;汪世杰;叶胜楷 |
| 分类号 | H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28;G01K7/00;G05D23/19 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 1、一种用于测试分类机的温度监控系统，其包含有：预加工台，其用于使测试器件达到一预定温度；测试平台，其用于以该预定温度测试该测试器件；以及一个或一个以上的辐射传感器，其用于通过测量发自该测试器件的辐射来检测该测试器件的表面温度。 | ||
| 地址 | 香港新界葵涌工业街16－22号屈臣氏中心20楼 | ||