粘合基板制造装置和粘合基板制造方法

摘要

本发明提供一种可防止粘合时基板横向滑移的粘合基板制造装置。该装置是在相互对向地配置在腔室内的加压板和台(33b)上，利用压力差吸附(第1保持面(61))和静电吸附(第2保持面(62))分别保持着第1基板和第2基板。在台(33b)的基板保持面上，形成利用摩擦阻力进一步保持第2基板的由摩擦阻力材料构成的第3保持面(63)。这样，在粘合时，可以防止因施加在两基板上的加工压的反向力而使基板横向滑移。

主权项

1.一种粘合基板制造装置，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持着第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，上述第1及第2保持板，可利用压力差吸附和静电吸附中的至少一种，分别保持上述第1及第2基板，上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上，形成有利用摩擦阻力进一步分别保持上述第1及第2基板的摩擦阻力材料。